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1、深冷空分制氮,即把压缩空气液化,通入分馏塔,然后利用氧气、氮气的沸点不同,分离出氮气(纯度基本固定在99.9995%)和富氧(35%的氧气+氮气)。深冷分离是成熟的工艺,一般适合于大型空分,且由于启动时间在2个小时以上,启动成本高,所以对用气连续性要求很高。适合大型用氮,纯度要求高,用气连续波动少的用户。
2、膜分离制氮,即通过膜对氮气、氧气通过的选择性不同制氮的。氮气纯度一般95%左右,膜分离制氮技术还不是很成熟,市场应用不多。
3、变压吸附制氮(PSA),即利用分子筛不同压力下对氮气、氧气的吸附率不同而制氮的。这也是适合小型制氮的技术。经济制氮的纯度范围可以在99~99.9%。